隨著信息化時代的到來，半導體行業(yè)也在迅速發(fā)展，半導體給社會帶來的經濟效益及就業(yè)率有目共睹，但隨之而來的環(huán)境問題也不容忽視。

半導體廢氣來源

半導體行業(yè)廢氣主要來自于半導體設備、電子元器件、電子組件、平板顯示器、整機機殼的表面涂層工藝使用的溶劑型涂料、清洗工藝使用的有機脫脂劑、脫水劑，感光成像工藝中的光刻膠稀釋劑、顯影劑、脫膠劑、液態(tài)阻焊膜劑、去膜劑等使用有機溶劑的工藝環(huán)節(jié)。

半導體廢氣特征

半導體行業(yè)產生的廢氣具有風量大、濃度低的特點。廢氣種類繁多，成分復雜，常見成分有苯、甲苯、丙酮、正丁醇、丙醇單甲醚、環(huán)己酮、正庚烷、甲基氫呋喃、三氯乙烯和氯仿等，通常分為酸堿廢氣、有機廢氣和有毒氣體，其中砷烷、磷烷等有毒廢氣具有極強的毒性和腐蝕性。如果不處理這些廢氣，不僅會對周圍環(huán)境產生較大危害，還會嚴重影響工人健康，長時間接觸這些氣體，會對肺部和皮膚黏膜產生刺激作用，從而導致呼吸道和皮膚疾病。

因此，需要采用高效的廢氣治理技術，對半導體行業(yè)VOCs廢氣進行凈化處理后達到排放要求。

半導體廢氣處理方法有那些？　

針對半導體廢氣的特性，治理工藝的選擇至關重要。

酸堿廢氣：一般采用堿液吸收和酸液吸收進行處理；

有機廢氣：可采用吸附法、吸收法、直接燃燒法、催化燃燒法、冷凝法等多種工藝；

有毒廢氣：對于砷烷、磷烷等有毒廢氣，則可采用砷磷烷吸附塔進行高效處理。

此外，針對半導體產線中不同工藝環(huán)節(jié)產生的廢氣，還需結合實際情況進行工藝優(yōu)化和組合。例如，在PECVD工藝中，可采用不銹鋼燃燒筒、硅烷燃燒洗滌塔和氨氣洗滌塔等組合工藝，實現對硅烷和氨氣的高效去除；在絲網印刷工藝中，可采用活性炭纖維吸附塔對有機廢氣進行凈化處理。

國家對于半導體廢氣治理的態(tài)度

隨著環(huán)保意識的增強和法規(guī)的日益嚴格，國家對半導體廢氣治理的重視程度不斷提高。一方面，加大了對廢氣治理技術研發(fā)的投入，推動廢氣治理技術的不斷創(chuàng)新和升級；另一方面，制定了一系列嚴格的排放標準，要求半導體企業(yè)必須采取有效的治理措施，確保廢氣排放達標，為廢氣治理市場的健康發(fā)展提供了有力保障。

可迪爾承接半導體生產各個工序的廢氣處理，在半導體廢氣治理行業(yè)有豐富的行業(yè)經驗和專業(yè)的技術團隊，目前還在為半導體行業(yè)廢氣治理難煩惱的業(yè)主，歡迎來可迪爾詳細咨詢。