半導體產業(yè)作為現代科技的心臟,，其每一步發(fā)展都離不開精密的材料與嚴苛的工藝,。而在這一領域中，砷烷,、磷烷是半導體,、 LED、光伏,、航天和國防事業(yè)的關鍵原材料,。而砷烷屬于易燃易爆劇毒氣體，爆炸極限為4.5%~100%VOL,，泄漏積聚到空氣中的砷烷氣體濃度處于此范圍內時,，遇明火、電弧,、火花,、高溫等就會發(fā)生爆炸。

今天跟隨可迪爾一起揭秘砷磷烷吸附塔是如何高效治理半導體生產中的特殊氣體的,！

砷磷烷吸附塔項目背景

在廈門有一家專業(yè)從事高端LED芯片,、先進化合物半導體器件及第三代半導體芯片的高新技術企業(yè)，生產過程中使用磷烷和砷烷做為關鍵材料,。在制造過程中,，砷烷、磷烷常被用作重要的摻雜氣體,，如何安全使用這些特殊氣體,，防止泄漏對環(huán)境和人員造成傷害，成為了業(yè)主必須解決的難題,。

砷磷烷吸附塔項目案例

針對業(yè)主事故排的安全需求,，我公司技術人員去現場進行了實地考察，最終采用砷磷烷吸附塔進行處理,，系統(tǒng)與房間偵測器聯動,，砷烷、磷烷發(fā)生泄漏時自動開啟事故排風模式,，經砷磷烷吸附塔有效處理后達標排放,，砷磷烷吸附塔的吸附效率大于90%，氣體排放濃度≤1mg/m3,，符合上海市《大氣污染綜合排放標準（征求意見稿）》（DB31/933-2023）,。

什么是砷磷烷吸附塔？

砷磷烷吸附塔是專門針對半導體摻雜制程工序中產生的砷烷,、磷烷,、四氟化碳等有毒廢氣設計的治理設備。該設備利用化學反應、復分解反應等基本原理,，與廢氣中的有害物質發(fā)生化學反應,，生成無毒無害的化合物或復合物。這些化合物或復合物還可直接用于修路,、垃圾填埋等,，實現了廢氣的資源化利用，避免了二次污染,。

每一次項目的成功實施,，都是對可迪爾技術的挑戰(zhàn)。未來,，可迪爾將繼續(xù)攜手更多合作伙伴,，共同探索綠色發(fā)展的新路徑，為構建更加安全,、可持續(xù)的科技生態(tài)貢獻企業(yè)力量,。