半導體制造是精密科技的核心產(chǎn)業(yè),但其生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣具有污染性,若半導體廢氣處理不當將威脅生態(tài)環(huán)境與人體健康,。本文從半導體廢氣來源分析切入,深入解讀治理必要性,、主流處理工藝,并分享可迪爾在上海的半導體廢氣處理標桿案例,,為行業(yè)提供可落地的解決方案,。
一、半導體廢氣來源
半導體制造包含光刻,、刻蝕,、清洗等關鍵工序,廢氣主要產(chǎn)生于以下環(huán)節(jié):
1. 光刻與顯影:使用丙酮,、異丙醇等有機溶劑清洗晶圓,,釋放VOCs。
2.化學氣相沉積(CVD):反應尾氣中含硅烷,、磷化氫等有毒氣體,。
3.濕法刻蝕與清洗:氫氟酸、硫酸等酸堿溶液揮發(fā)形成硫酸霧,、氟化氫等酸性廢氣,。
4.離子注入與擴散:高溫工藝中可能產(chǎn)生氨氣、氯氣等有害氣體,。
典型廢氣成分:
有機廢氣:丙酮,、異丙醇、乙酸丁酯等
酸堿廢氣:HF、H3PO?,、H2SO?霧等
毒性氣體:砷化氫,、磷化氫等(需特殊處理)
二、半導體廢氣處理方法主流工藝對比
廢氣類型 | 處理工藝 | 原理與優(yōu)勢 | 適用場景 |
有機廢氣 | 沸石轉輪+RTO | 吸附濃縮+高溫氧化,,效率>99% | 大風量,、低濃度VOCs |
活性炭吸附+催化燃燒 | 投資低,,適合間歇性排放 | 小規(guī)模生產(chǎn)線 | |
酸堿廢氣 | 多級化學洗滌塔 | 酸堿中和反應,,效率>95% | HF、H?SO?等酸性氣體 |
干式吸附塔 | 使用Ca(OH)?等中和劑,,無廢水產(chǎn)生 | 缺水的地區(qū) | |
特殊氣體 | 燃燒塔+SCR催化 | 高溫分解+選擇性催化還原 | 砷化氫,、磷化氫等劇毒氣體 |
行業(yè)趨勢:沸石轉輪+RTO因能耗低、適應性強,,已成為半導體廠廢氣治理首選方案,。
三、半導體廢氣處理案例:可迪爾上海項目實踐案例
半導體廢氣處理案例背景
半導體廠廢氣處理行業(yè):半導體制造
地點:上海
半導體廠廢氣處理廢氣類型:
有機廢氣:風量33000m3/h,,濃度200mg/m3,,含丙酮、異丙醇等
酸堿廢氣:風量35000m3/h,,濃度20mg/m3,,含硫酸霧、氟化氫等
半導體廢氣處理方案
可迪爾針對半導體生長產(chǎn)線的特點,,設計了“沸石轉輪吸附濃縮+RTO蓄熱燃燒”組合工藝治理有機廢氣,;酸堿廢氣采用洗滌塔工藝,通過酸堿中和作用去除硫酸,、磷酸,、氨氣等物質,最終實現(xiàn)高效凈化和節(jié)能降耗的雙目標,。
沸石吸附效率≥92%
沸石濃縮倍數(shù):25-30倍
RTO去除率≥99%
半導體廠廢氣處理成果:
處理后的非甲烷≤20mg/m3,,排放指標全面優(yōu)于國家及地方標準,目前系統(tǒng)運行穩(wěn)定高效,。
三,、為什么選擇可迪爾廢氣處理方案?
行業(yè)經(jīng)驗:累計服務300+半導體企業(yè),,熟悉工藝廢氣特性
技術優(yōu)勢:自主研發(fā)沸石轉輪材料,,耐高溫、抗?jié)裥詮?/span>
定制化設計:根據(jù)車間布局靈活配置設備,,節(jié)省占地面積
智能運維:遠程監(jiān)控系統(tǒng)+定期維保服務,,確保長期達標
四、結語
半導體廢氣處理需兼顧技術可行性與經(jīng)濟性。通過沸石轉輪+RTO與化學洗滌塔的組合工藝,,可迪爾成功實現(xiàn)上海半導體廢氣治理項目的超低排放,。如需獲取半導體定制化處理方案,歡迎聯(lián)系可迪爾環(huán)保工程師團隊,,我們將為您提供從檢測,、設計到施工的一站式服務。