半導(dǎo)體制造是精密科技的核心產(chǎn)業(yè),,但其生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣具有污染性,,若半導(dǎo)體廢氣處理不當(dāng)將威脅生態(tài)環(huán)境與人體健康。本文從半導(dǎo)體廢氣來源分析切入,深入解讀治理必要性,、主流處理工藝,,并分享可迪爾在上海的半導(dǎo)體廢氣處理標(biāo)桿案例,,為行業(yè)提供可落地的解決方案,。
一、半導(dǎo)體廢氣來源
半導(dǎo)體制造包含光刻,、刻蝕,、清洗等關(guān)鍵工序,廢氣主要產(chǎn)生于以下環(huán)節(jié):
1. 光刻與顯影:使用丙酮,、異丙醇等有機(jī)溶劑清洗晶圓,,釋放VOCs。
2.化學(xué)氣相沉積(CVD):反應(yīng)尾氣中含硅烷,、磷化氫等有毒氣體,。
3.濕法刻蝕與清洗:氫氟酸、硫酸等酸堿溶液揮發(fā)形成硫酸霧,、氟化氫等酸性廢氣,。
4.離子注入與擴(kuò)散:高溫工藝中可能產(chǎn)生氨氣、氯氣等有害氣體,。
典型廢氣成分:
有機(jī)廢氣:丙酮,、異丙醇、乙酸丁酯等
酸堿廢氣:HF,、H3PO?,、H2SO?霧等
毒性氣體:砷化氫、磷化氫等(需特殊處理)
二,、半導(dǎo)體廢氣處理方法主流工藝對比
廢氣類型 | 處理工藝 | 原理與優(yōu)勢 | 適用場景 |
有機(jī)廢氣 | 沸石轉(zhuǎn)輪+RTO | 吸附濃縮+高溫氧化,,效率>99% | 大風(fēng)量、低濃度VOCs |
活性炭吸附+催化燃燒 | 投資低,,適合間歇性排放 | 小規(guī)模生產(chǎn)線 | |
酸堿廢氣 | 多級化學(xué)洗滌塔 | 酸堿中和反應(yīng),,效率>95% | HF、H?SO?等酸性氣體 |
干式吸附塔 | 使用Ca(OH)?等中和劑,無廢水產(chǎn)生 | 缺水的地區(qū) | |
特殊氣體 | 燃燒塔+SCR催化 | 高溫分解+選擇性催化還原 | 砷化氫,、磷化氫等劇毒氣體 |
行業(yè)趨勢:沸石轉(zhuǎn)輪+RTO因能耗低,、適應(yīng)性強(qiáng),已成為半導(dǎo)體廠廢氣治理首選方案,。
三,、半導(dǎo)體廢氣處理案例:可迪爾上海項(xiàng)目實(shí)踐案例
半導(dǎo)體廢氣處理案例背景
半導(dǎo)體廠廢氣處理行業(yè):半導(dǎo)體制造
地點(diǎn):上海
半導(dǎo)體廠廢氣處理廢氣類型:
有機(jī)廢氣:風(fēng)量33000m3/h,濃度200mg/m3,,含丙酮,、異丙醇等
酸堿廢氣:風(fēng)量35000m3/h,濃度20mg/m3,,含硫酸霧,、氟化氫等
半導(dǎo)體廢氣處理方案
可迪爾針對半導(dǎo)體生長產(chǎn)線的特點(diǎn),設(shè)計(jì)了“沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮+RTO蓄熱燃燒”組合工藝治理有機(jī)廢氣,;酸堿廢氣采用洗滌塔工藝,通過酸堿中和作用去除硫酸,、磷酸,、氨氣等物質(zhì),最終實(shí)現(xiàn)高效凈化和節(jié)能降耗的雙目標(biāo),。
沸石吸附效率≥92%
沸石濃縮倍數(shù):25-30倍
RTO去除率≥99%
半導(dǎo)體廠廢氣處理成果:
處理后的非甲烷≤20mg/m3,,排放指標(biāo)全面優(yōu)于國家及地方標(biāo)準(zhǔn),目前系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定高效,。
三,、為什么選擇可迪爾廢氣處理方案?
行業(yè)經(jīng)驗(yàn):累計(jì)服務(wù)300+半導(dǎo)體企業(yè),,熟悉工藝廢氣特性
技術(shù)優(yōu)勢:自主研發(fā)沸石轉(zhuǎn)輪材料,,耐高溫、抗?jié)裥詮?qiáng)
定制化設(shè)計(jì):根據(jù)車間布局靈活配置設(shè)備,,節(jié)省占地面積
智能運(yùn)維:遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)+定期維保服務(wù),,確保長期達(dá)標(biāo)
四、結(jié)語
半導(dǎo)體廢氣處理需兼顧技術(shù)可行性與經(jīng)濟(jì)性,。通過沸石轉(zhuǎn)輪+RTO與化學(xué)洗滌塔的組合工藝,,可迪爾成功實(shí)現(xiàn)上海半導(dǎo)體廢氣治理項(xiàng)目的超低排放。如需獲取半導(dǎo)體定制化處理方案,,歡迎聯(lián)系可迪爾環(huán)保工程師團(tuán)隊(duì),,我們將為您提供從檢測、設(shè)計(jì)到施工的一站式服務(wù),。