半導(dǎo)體行業(yè)：技術(shù)進(jìn)步如何重塑人類生活

半導(dǎo)體技術(shù)被譽(yù)為現(xiàn)代工業(yè)的“心臟”，其發(fā)展深刻改變了人類的生活方式。從智能手機(jī)、人工智能到新能源汽車、遠(yuǎn)程醫(yī)療，芯片的精密制造支撐著數(shù)字社會(huì)的運(yùn)轉(zhuǎn)。然而，半導(dǎo)體制造的繁榮背后隱藏著嚴(yán)峻的環(huán)境挑戰(zhàn)——每片芯片的誕生，都伴隨著大量有機(jī)廢氣的排放。

半導(dǎo)體廢氣治理方案為何刻不容緩？

半導(dǎo)體制造工藝復(fù)雜，光刻、蝕刻、清洗等環(huán)節(jié)使用的化學(xué)品（如丙酮、異丙醇、NMP等）會(huì)產(chǎn)生大量揮發(fā)性有機(jī)物、酸性氣體及顆粒物。

以浙江海寧某半導(dǎo)體企業(yè)為例：其車間原始廢氣風(fēng)量達(dá)50000m3/h，濃度500mg/m3，若放任排放，年VOCs釋放量將超過(guò)200噸，相當(dāng)于數(shù)百輛汽車全年尾氣排放的總和。這些廢氣若未經(jīng)處理直接排放，對(duì)環(huán)境與健康都存在潛在威脅。業(yè)主為了履行社會(huì)責(zé)任，改善車間環(huán)境，決定委托可迪爾設(shè)計(jì)半導(dǎo)體廢氣治理方案。

可迪爾半導(dǎo)體廢氣治理方案：技術(shù)與效益的雙重突破

可迪爾根據(jù)業(yè)主的需求，針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)廢氣大風(fēng)量低濃度、成分復(fù)雜的特點(diǎn)，可迪爾設(shè)計(jì)了沸石轉(zhuǎn)輪+TO的定制化治理方案，最終成功實(shí)現(xiàn)綠色達(dá)標(biāo)排放。

半導(dǎo)體廢氣治理方案核心優(yōu)勢(shì)解析

沸石轉(zhuǎn)輪：精準(zhǔn)捕獲復(fù)雜VOCs

采用疏水性沸石分子篩，針對(duì)丙酮、乙酸乙酯、異丙醇等極性物質(zhì)優(yōu)化吸附效率，將廢氣濃縮15倍，大幅降低后續(xù)處理能耗。

TO：高效分解與節(jié)能并重

濃縮后的高濃度廢氣在750℃高溫下徹底氧化分解，凈化效率達(dá)99%以上。TO爐通過(guò)蓄熱陶瓷回收95%熱能，相比傳統(tǒng)工藝節(jié)省40%天然氣消耗，年運(yùn)行成本降低超百萬(wàn)元。

半導(dǎo)體廢氣治理方案：從個(gè)案到標(biāo)桿的跨越

本次項(xiàng)目通過(guò)第三方檢測(cè)，非甲烷總烴排放濃度≤20mg/m3，滿足天津市《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物排放控制標(biāo)準(zhǔn)》（按照最高標(biāo)準(zhǔn)），設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行，成為了半導(dǎo)體行業(yè)廢氣治理的示范案例。

 技術(shù)創(chuàng)新需與產(chǎn)業(yè)需求深度結(jié)合

半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)躍進(jìn)不應(yīng)以環(huán)境透支為代價(jià)。可迪爾的實(shí)踐表明，通過(guò)科學(xué)設(shè)計(jì)、技術(shù)創(chuàng)新與精細(xì)化運(yùn)營(yíng)，環(huán)保治理不僅能滿足法規(guī)要求，還可轉(zhuǎn)化為企業(yè)的核心競(jìng)爭(zhēng)力。未來(lái)，唯有將可持續(xù)發(fā)展理念融入芯片制造的每一道工序，才能真正實(shí)現(xiàn)科技向善的愿景。