業(yè)主是一家全球排名前列的半導(dǎo)體設(shè)計(jì)公司,,位于上海,,現(xiàn)有五條現(xiàn)有生產(chǎn)線和四條擬建生產(chǎn)線,包括晶圓彩色濾光片和微鏡頭封裝生產(chǎn)線,,產(chǎn)生酸性,、堿性和VOCs廢氣,,廢氣成分:丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇單甲醚,、乙二醇二甲醚,、乙二醇單丁醚等,風(fēng)量:20000m3/h,,廢氣濃度:200mg/m3,。
沸石轉(zhuǎn)輪+TO(一用一備)
20倍
設(shè)計(jì)方案:
廢氣經(jīng)主工藝風(fēng)機(jī)輸送至沸石轉(zhuǎn)輪,廢氣中的VOCs被沸石吸附后達(dá)標(biāo)排放至大氣中,,由脫附風(fēng)機(jī)輸送的熱空氣將VOCs從沸石中脫附出來,,再由TO風(fēng)機(jī)輸送至TO反應(yīng)器中,被氧化成CO2和H2O,,達(dá)標(biāo)排放至大氣中,。
驗(yàn)收情況:
經(jīng)過第三方檢測(cè),處理后的廢氣濃度滿足《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物排放控制標(biāo)準(zhǔn)》(DB12/524-2020)相關(guān)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的要求,。