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半導體行業(yè)VOCs治理解決方案
項目背景

業(yè)主是一家全球排名前列的半導體設(shè)計公司，位于上海，現(xiàn)有五條現(xiàn)有生產(chǎn)線和四條擬建生產(chǎn)線,，包括晶圓彩色濾光片和微鏡頭封裝生產(chǎn)線,，產(chǎn)生酸性、堿性和VOCs廢氣,，廢氣成分：丙二醇甲醚醋酸酯,、丙二醇單甲醚、乙二醇二甲醚,、乙二醇單丁醚等,，風量：20000m3/h,，廢氣濃度：200mg/m3。

治理工藝

沸石轉(zhuǎn)輪+TO（一用一備）

濃縮倍數(shù)

20倍

產(chǎn)品信息

設(shè)計方案：

廢氣經(jīng)主工藝風機輸送至沸石轉(zhuǎn)輪,，廢氣中的VOCs被沸石吸附后達標排放至大氣中,，由脫附風機輸送的熱空氣將VOCs從沸石中脫附出來，再由TO風機輸送至TO反應(yīng)器中,，被氧化成CO2和H2O,，達標排放至大氣中。


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驗收情況：

經(jīng)過第三方檢測,，處理后的廢氣濃度滿足《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機物排放控制標準》（DB12/524-2020）相關(guān)污染物排放標準的要求,。


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