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半導(dǎo)體行業(yè)VOCs治理解決方案
項(xiàng)目背景

業(yè)主是一家全球排名前列的半導(dǎo)體設(shè)計(jì)公司,,位于上海,,現(xiàn)有五條現(xiàn)有生產(chǎn)線和四條擬建生產(chǎn)線,,包括晶圓彩色濾光片和微鏡頭封裝生產(chǎn)線,,產(chǎn)生酸性、堿性和VOCs廢氣,,廢氣成分:丙二醇甲醚醋酸酯,、丙二醇單甲醚、乙二醇二甲醚,、乙二醇單丁醚等,,風(fēng)量:20000m3/h,廢氣濃度:200mg/m3,。

治理工藝

沸石轉(zhuǎn)輪+TO(一用一備)

濃縮倍數(shù)

20倍

產(chǎn)品信息

設(shè)計(jì)方案:

廢氣經(jīng)主工藝風(fēng)機(jī)輸送至沸石轉(zhuǎn)輪,,廢氣中的VOCs被沸石吸附后達(dá)標(biāo)排放至大氣中,由脫附風(fēng)機(jī)輸送的熱空氣將VOCs從沸石中脫附出來(lái),,再由TO風(fēng)機(jī)輸送至TO反應(yīng)器中,,被氧化成CO2和H2O,達(dá)標(biāo)排放至大氣中,。


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驗(yàn)收情況:

經(jīng)過(guò)第三方檢測(cè),,處理后的廢氣濃度滿足《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物排放控制標(biāo)準(zhǔn)》(DB12/524-2020)相關(guān)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的要求。


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