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半導體行業(yè)VOCs治理解決方案
項目背景

業(yè)主是一家全球排名前列的半導體設計公司,位于上海,現有五條現有生產線和四條擬建生產線,包括晶圓彩色濾光片和微鏡頭封裝生產線,產生酸性、堿性和VOCs廢氣,廢氣成分:丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇單甲醚、乙二醇二甲醚、乙二醇單丁醚等,風量:20000m3/h,廢氣濃度:200mg/m3。

治理工藝

沸石轉輪+TO(一用一備)

濃縮倍數

20倍

產品信息

設計方案:

廢氣經主工藝風機輸送至沸石轉輪,廢氣中的VOCs被沸石吸附后達標排放至大氣中,由脫附風機輸送的熱空氣將VOCs從沸石中脫附出來,再由TO風機輸送至TO反應器中,被氧化成CO2和H2O,達標排放至大氣中。


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驗收情況:

經過第三方檢測,處理后的廢氣濃度滿足《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機物排放控制標準》(DB12/524-2020)相關污染物排放標準的要求。


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